據(jù)報道，韓國用于半導(dǎo)體制造工藝的本土氖氣生產(chǎn)和供應(yīng)預(yù)計將于2022年下半年開始。

“我們準(zhǔn)備從下半年開始向半導(dǎo)體制造商供應(yīng)氖氣，”TEMC于2月28日表示。這種氣體構(gòu)成了用于半導(dǎo)體曝光的準(zhǔn)分子激光氣體，其在空氣中的含量低至 0.00182%。

目前，韓國對進(jìn)口氖氣的依存度為100%。自俄烏沖突爆發(fā)以來，氖氣等惰性氣體的采購已成為韓國嚴(yán)重關(guān)切的問題。

兩家韓國企業(yè)TEMC和POSCO最近建設(shè)了高純氖氣生產(chǎn)設(shè)備，設(shè)備年產(chǎn)能約為22,000立方米，相當(dāng)于國內(nèi)需求的16%。兩家公司還在研究其他稀有氣體，包括氪和氙，用于進(jìn)口替代。

2021年，韓國的氖氣進(jìn)口包括23%來自烏克蘭和5%來自俄羅斯，氪氣的百分比分別為31%和17%，氙氣的百分比為18%和31%。